Toote nimi: Tsirkooniumi pihustamise sihtmärk

Materjali klass: Zr702 (ASTM B493 klass R60702)

Puhtusaste: 99,95% (3N5) Metall-põhine (Hf-vaba)

Põhirakendused: täiustatud pooljuhtide pakend, optiline kate, päikesepatarei tagaelektrood, mikroelektrooniline ühenduskiht (PVD-protsess)

Tootmisstandardid: vastab standarditele ASTM B493/B493M-14 (tsirkooniumi ja tsirkooniumisulamite sepistamise spetsifikatsioon) ja SEMI M13-1102 (pritsimissihtmärkide üldspetsifikatsioon)

Tsirkooniumi pihustamise sihtmärgi teoreetiline tihedus on 6,51 g/cm³, selle tihedus on suurem või võrdne 99,0%, selle soojusjuhtivus on 22,6 W/m·K ja soojuspaisumistegur (20–300 kraadi) on 5,7 × 10⁻. Need parameetrid on mõõdetud väärtused kõrge -puhtusastmega Zr702 sihtmärkide jaoks standardses lõõmutatud olekus, mis sobivad suure võimsusega alalis-/RF-magnetroni pihustusrakendusteks ja nende termiline stabiilsus on parem kui 99,9% puhtusega materjalidel.

Toote pinnakvaliteedi ja mikrostruktuuri nõuded:

Tera suurus: väiksem või võrdne 50 μm (keskmine), mõõdetuna EBSD-ga (elektronide tagasihajumise difraktsioon), tera suuruse jaotuse standardhälbega 15 μm või väiksem.

Pinna karedus (Ra): 0,8 μm või sellega võrdne, mõõdetuna 3D-optilise profilomeetriga (ISO 4287), kriimustuste, süvendite ja aukudeta.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² on tagasi lükatud.

Mikrostruktuur: ühtlane võrdseteljeliste -faasistruktuur. SEM (500-kordne suurendus), ilma pooride, lisandite ja segregatsioonita.

Kõik sihtmärgid tihendatakse kuumisostaatilise pressimise (HIP) abil, et tagada tera piiride sidumise tugevus, mis on suurem või võrdne 180 MPa, mis vastab nõudele, et pärast 500-tunnist pidevat pihustamist ei tekiks delaminatsioonitõrkeid.

Tsirkooniumi pihustamise sihtmärgi (GHS-i ja IEC-ühilduv) pakendamise ja tarnimise spetsifikatsioonid:

Sisepakend: vaakumkinnitatud (vähem kui 1 × 10⁻³ mbar või sellega võrdne) + täidetud kõrge -puhtusastmega argooniga (99,999%), mis vastab standardile ASTM F2095.

Välispakend: kahekihiline niiskuskindel -alumiiniumfooliumist kott + EPE pehmendusvaht + puidust kast (ühildub ISPM-15-ga), IEC 60068-2-78.

Niiskuskaitsemärgis: niiskuskindel-+ niiskuse indikaatorkaart (RH kuni 5%), mis vastab standardile IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: ühildub GHS 7. versiooniga, sisaldab 16 standardset jaotist, sealhulgas Zr-tolmu plahvatusoht (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Tarnemärgis: UN 1399 (mitte-süttiv tahke metall) + söövitavad ained.

Igas karbis on kuivatusaine pakend (silikageel) ja niiskuse mõõtja. Temperatuuri reguleerimine kogu transpordi ajal: 5–30 kraadi, suhteline õhuniiskus 40% või vähem.

KKK

K: Kas saate esitada tsirkooniumi pihustamise sihtmärgi tüüpilisi klientide juhtumiuuringuid?

V: Maailma kümme suurimat pooljuhtide tootjat, sealhulgas TSMC, Samsung Electronics, Intel ja SK Hynix, on kõik tsirkooniumi sihtmärkide kaudsed{0}}lõppkasutajad. Nende täiustatud protsessid (nagu alla 5 nm sõlmed) kasutavad laialdaselt Zr702 sihtmärke metallist tõkkekihtide, liidese passiveerimiskihtide ja ühendusstruktuuride jaoks, mis on paigutatud PVD-seadmetega, nagu Applied Materials Endura® ja Lam Research Kiyo®. Seega on tsirkooniumi sihtmärgid nende masstootmisprotsessides põhiliste funktsionaalsete materjalidena.

Juhtivad rahvusvahelised kuvari- ja fotogalvaanilised ettevõtted, nagu LG Display, Samsung Display ja First Solar, kasutavad OLED-paneeli elektroodide kattekihis ja CIGS-i päikesepatareide tagaelektroodide valmistamisel kõrge-puhtusega tsirkooniumi sihtmärke, et saavutada madal-takistus, kõrge{2}}stabiilsus metalli õhukese kile sadestamine, mis vastab suure tootmise nõudmistele{4a.u.u.3}

Lennundus- ja kaitsetööstuse tipptasemel-tootmisettevõtted, sealhulgas Lockheed Martin, Boeing ja Northrop Grumman, kasutavad tsirkooniumi sihtmärke kõrge -temperatuuri, korrosiooni-kindlate kattekihtide PVD-sadetiseks, mida rakendatakse mootorikomponentidele, termokaitsesüsteemidele ja radari varjatud struktuuridele. Nende hankestandardid on ranged, nõudes vastavust AS9100D sertifikaadile ja partii COA jälgitavuse nõuetele.

K: Kas aktsepteerite panga akreditiive?

V: Jah, me aktsepteerime ostude eest makseviisina akreditiive (L/C). Palun hoidke ühendust.

K: Kas tsirkooniumi pihustusobjektid on üldiselt sertifitseeritud ISO 9001, IATF 16949 ja AS9100 järgi?

V: Jah, tööstuslike ja tipptasemel{0}}rakenduste tsirkooniumi pihustusobjektide valdkonnas on ISO 9001, IATF 16949 ja AS9100D sertifikaadid muutunud universaalseteks ja kohustuslikeks sisenemisstandarditeks.

Kuum tags: tsirkooniumi pihustussihtmärk, Hiina tsirkooniumi pihustussihtmärgi tootjad, tarnijad, tehas